行业动态

 　　雅斯科近期推出的ZL91/ZL92超高纯压力传感器以及HPT超高纯压力表，采用PFA/PTFE这类氟聚合物作为接液材质。这种材料的使用对于半导体制造工艺和设备有什么好处？

　　PFA，即全氟烷氧基树脂，以及PTFE，即聚四氟乙烯，属于商业化的氟聚合物(Fluoropolymer)。氟聚合物具有非常高的耐化学品性、阻隔性、抗高温性及良好的电性能，而且不吸收湿气，摩擦系数*低，同时耐候性良好(1)。

　　雅斯科的ZL91/ZL92压力传感器以及HPT压力表即采用PFA以及PTFE来制造膜片、膜盒、过程接头等接液部件。ZL91/ZL92使用陶瓷压力传感元件，所以我们设计了*层PFA保护膜片以隔离介质和传感元件。

　　在半导体制造工艺过程中经常使用腐蚀性的流体或超纯水作为工艺介质。在很多这样的工艺条件中，金属接液材质可能未必是*适合的。不锈钢接液材质易产生点蚀或应力开裂，酸性介质中金属可能产生浸出现象，或*些亚稳态的过程介质如硝酸遇到钼可能产生催化分解。

　　这样的应用场景经常出现在晶圆制造，湿蚀刻，电镀，清洗，湿式洗涤站，超纯/去离子水设备等工艺或设备中。PFA/PTFE这类氟聚合物*方面具有良好的耐腐蚀性，另*方面可以避免超纯水/去离子水介质可能引起的金属离子逃逸，因此作为压力传感器或压力表的接液部件的材质，具有良好的应用性能。