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　　半导体行业几乎影响着当今生活的方方面面。您每天使用的手机、计算机、电视、汽车和其他电子设备都依赖于半导体的存在，这些应用需要专业的高纯度设备和仪器来确保安全、高效运行。

　　压力传感器对于半导体工艺至关重要，如何选择适用于半导体应用的压力传感器？本文将重点介绍半导体应用过程中所涉及的因素，以及是什么造就了*台**的压力传感器，以便为您的实际应用选择合适的设备。

　　雅斯科Ashcroft的压力测量技术和产品，包括配备CVD传感元件的高纯压力传感器以及使用 Si-Glas? 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件的微差压传感器，在诸如气体控制面板，氢气压力检测，以及洁净室关键环境控制等应用*域，为半导体制程和设备提供精确的测量和有效的保障。

　　半导体应用中

　　压力传感器的关键因素

　　污染控制

　　为了降低成本并提高性能，半导体制造不断面临着增加晶片中电路数量和密度的挑战。为了使电路图案变得越来越小，在半导体工艺过程中需要进行大范围的污染控制，以避免即使是*小的外来颗粒也不会对暴露的晶片表面造成损坏。

　　光滑的表面

　　光滑的表面减少了暴露在使用过程中的表面积，并减少了在安装期间和重复使用后水分或异物粘附在仪器上的机会。

　　优质的材质

　　压力传感器的材料必须与过程介质兼容并具有可靠的质量。高纯度等*的 316L 不锈钢*常用于压力传感器，因为它们具有高耐腐蚀性和抗氢脆性 —— 这些因素会影响压力传感器的长期安全性、可重复性和稳定性。

　　安全认证

　　此外，半导体气体可能易燃易爆有毒，因此必须选择具有防爆认证的压力传感器，以解决至关重要的安全问题。

　　雅斯科AshcroftZT/ZX系列高纯压力传感器基于CVD传感元件平台，是超纯应用的专用压力传感器产品，其产品特性包括能适应不同介质的接液元件材质，如316L, A286，Co-Ni 合金等，也包括VCR接头，以及符合规范的表面光洁度和测量精度。每台产品都经过泄漏检测(<5 x 10?? atmcc/s)以及双重包装处理，确保完整性和洁净度。

　　该产品系列与多种过程气体兼容，并在长期过程测量中表现出较高的稳定性。ZX11超高纯压力变送器具有适用于危险区域的 ATEX 和 IECEX 认证证书。